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目录1

第一章绪论1

§1.1陀螺仪的发展与应用1

§1.2静电陀螺仪简介3

§1.3静电陀螺支承系统3

§1.4静电支承的技术热点问题10

第二章球面电极的出力计算及参数分析12

§2.1球面电极的划分12

§2.2静电吸力的计算13

§2.3碗电极参数分析19

第三章静电加力执行系统39

§3.1静电悬浮载波机理39

§3.2 20kHZ静电悬浮加力变压器42

§3.3单管乙类功率放大器43

第四章球转子与碗电极测量电路理论分析49

§4.1 不同电极划分下球碗间隙电容桥三维敏感电路分析49

§4.2微位移电容传感器机械量与电参量的相互关系66

§4.3测量因子灵敏度分析68

§4.4加力与测量效率的分析与公式推导71

§4.5测量分辨率分析74

§4.6测量零点稳定性分析79

§4.7提高测量稳定性和排除高压干扰的措施80

第五章转子位移测量电路实现83

§5.1测量电路的设计83

§5.2 0.01μm等效分辨率实现技术93

§5.3转子位移电容分辨率标定装置98

§6.1 ESS控制模式与控制环节的两大问题109

第六章悬浮支承随动控制技术与控制模式109

§6.2随动控制方案与控制模式110

§6.3 VCR组件及小预载调制器实现120

第七章具有并行与容错余度性能的支承方案探讨129

§7.1 分频式半球支承——时间上并行的支承129

§7.2分时式半球支承——时间均分的等效并行支承136

§7.3八电极独立支承（4—3—4变换）——容错余度控制方案143

§7.4控制方案探讨综合与优化电路研究148

第八章静电悬浮综合技术研究及机—电相互关系159

§8.1悬浮支承惯性传感器的综合技术问题159

§8.2误差源分类与精度分析163

§8.3真空分析与消气剂应用166

§8.4恒速与转子质心偏移理论研究172

§8.5超前补偿的悬浮支承控制及转子恒速技术188

§8.6实心球技术研究195

第九章测量与支承同—频率的恒流支承系统198

§9.1原理198

§9.2控制环路设计与增益分配203

§9.3实验用电路的设计206

§9.4单频恒流ESS开环实验研究209

§9.5实验研究结果210

第十章静电悬浮技术的发展与拓广213

§10.1静电陀螺的发展进程与技术水平213

§10.2我国静电悬浮控制技术尚需开展的工作215

§10.3超导惯性传感器的磁悬浮支承初探217

参考文献222